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限定条件	专题：集成光电技术研究中心    第一作者的第一单位    第一作者单位    通讯作者单位

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	Single-mode-resonance interference in photoresist sub-micron waveguide for high exposure depth nanolithography 期刊论文 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2016, 卷号: 154, 页码: 8-11 作者:  Yang, Zheng;  Zhang, Zhiyou;  Wu, Peng;  Xia, Liangping;  Yin, Shaoyun;  Du, Jinglei 收藏  |  浏览/下载：119/0  |  提交时间：2018/03/15 Lithography  Subwavelength  Nanostructure fabrication  Waveguide  Single-mode-resonance
	Fabrication of large area diffractive optical elements by laser direct writing 会议论文 6th IEEE International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale, IEEE 3M-NANO 2016, Chongqing, China, July 18, 2016 - July 22, 2016 作者:  Wang, Yunjiao;  Zhang, Weiguo;  Yang, Zheng;  Xiong, Xin;  Xia, Liangping;  Gao, Mingyou;  Zhang, Dong;  Wang, Deqiang;  Yuan, Jiahu Adobe PDF(990Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：136/0  |  提交时间：2018/03/16
	用于成像系统的高矢高透镜阵列光刻技术 期刊论文 科学技术与工程, 2014, 期号: 20, 页码: 167-171 作者:  张裕坤;  张志友;  杜惊雷;  尹韶云;  史立芳;  邓启凌;  董小春;  杜春雷 Adobe PDF(417Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：77/0  |  提交时间：2018/03/16 矢高  透镜阵列  成像
	Nanochannel fabrication by imprinting-induced cracks 期刊论文 APPLIED PHYSICS LETTERS, 2014, 卷号: 104, 期号: 7, 页码: 4 作者:  Xia, Liangping;  Zhang, Man;  Yang, Zheng;  Cui, Hongliang;  Yin, Shaoyun;  Hu, Song;  Du, Chunlei 收藏  |  浏览/下载：79/0  |  提交时间：2018/03/15