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用于成像系统的高矢高透镜阵列光刻技术
张裕坤; 张志友; 杜惊雷; 尹韶云; 史立芳; 邓启凌; 董小春; 杜春雷
2014-07-18
摘要在移动掩模光刻技术的基础上,提出一种可用于成像系统的高矢高透镜阵列制备的二次光刻方法。二次光刻分别用于减小抗蚀剂表面粗糙度和借助移动掩模光刻制备高矢高透镜阵列。通过这种方法,制备了矢高254μm的透镜阵列。透镜矢高约为传统移动掩模光刻技术制备透镜阵列矢高的二倍。进而,制备的透镜阵列被用于集成成像系统,获得了高质量的三维图像。这一结果很好地证明了此种二次光刻方法可用于成像系统高矢高透镜阵列的制备,具有较好的应用前景。
关键词矢高 透镜阵列 成像
发表期刊科学技术与工程
期号20页码:167-171
语种英语