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限定条件	作者：尹韶云    第一作者    专题：集成光电技术研究中心    第一作者的第一单位    第一作者单位    通讯作者单位    出处：激光与光电子学进展

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	多点实时光刻机光源照度均匀度检测系统设计 期刊论文 激光与光电子学进展, 2018, 卷号: 055, 期号: 006, 页码: 061203 作者:  赵可为;  谭艾英;  尹韶云;  蔡文涛;  杨若夫;  陈建军;  佟首峰 收藏  |  浏览/下载：120/0  |  提交时间：2019/12/03
	大面积高均匀度平行光曝光机用自由曲面复眼透镜设计 期刊论文 激光与光电子学进展, 2018, 卷号: 55, 期号: 4, 页码: 042201 作者:  陈忠雨;  尹韶云;  孙秀辉;  江海波;  杜春雷 收藏  |  浏览/下载：87/0  |  提交时间：2019/12/03
	大面积平行光高均匀度曝光机用自由曲面复眼设计 期刊论文 激光与光电子学进展, 2017, 页码: 1-13 作者:  陈忠雨;  尹韶云;  孙秀辉;  江海波;  杜春雷 Adobe PDF(518Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：151/0  |  提交时间：2018/03/16 光学设计  高均匀度  自由曲面  曝光机  复眼
	高填充因子半导体激光器慢轴光束准直技术研究 期刊论文 激光与光电子学进展, 2015, 卷号: 52, 期号: 6, 页码: 061402-01-061402-06 作者:  汪岳峰;  雷呈强;  殷智勇;  尹韶云;  孙秀辉 Adobe PDF(1380Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：72/0  |  提交时间：2018/03/16