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	大面积平行光高均匀度曝光机用自由曲面复眼设计
	陈忠雨; 尹韶云; 孙秀辉; 江海波; 杜春雷
	2017-11-13
摘要	大面积平行光曝光机是印刷线路板(PCB)、显示面板和触摸屏等电子产品重要的制造设备,由于采用复眼结合反射镜的非轴对称柯勒照明光路,其曝光均匀度只有85%左右,难以满足高精度加工制造的需求。本文针对此问题提出采用自由曲面复眼替代传统的球面复眼,建立了高均匀度复眼单元的自由曲面面形设计方法。通过光线追迹仿真实验分析,发现采用该方法,曝光均匀度较采用球面复眼从0.85提高到了0.91以上,满足了高精度加工制造所需的高均匀度曝光的要求。设计的自由曲面复眼面型连续,可以通过金刚石车削进行精密加工,有望在大面积平行光曝光机照明光路中得到广泛应用。
关键词	光学设计 高均匀度 自由曲面 曝光机 复眼
发表期刊	激光与光电子学进展
ISSN	1006-4125
页码	1-13
收录类别	CSCD
语种	中文