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	多点实时光刻机光源照度均匀度检测系统设计
	赵可为1; 谭艾英2; 尹韶云2; 蔡文涛2; 杨若夫2; 陈建军2; 佟首峰1
	2018
摘要	提出了一种光刻机照度均匀度多点测量方法，该方法利用紫外增强PIN光电二极管，同时快速测量曝光机照面多点的光强，通过在传统电流一电压放大电路的基础上进行改进，同时使用复合放大的方法，大大提高了曝光机照度均匀度多点测量方法的重复性，使每一测量单点测量重复性控制在0．02mW／cm^2。利用紫外增强PIN光电二极管光刻机光源进行实验，结果表明，多点测量一致性小于0．1mW／cm^2，且检测的照度均匀性符合要求。
发表期刊	激光与光电子学进展
ISSN	1006-4125
卷号	055期号:006页码:061203
收录类别	CSCD
CSCD记录号	CSCD:6266950
语种	英语