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限定条件	专题：集成光电技术研究中心    第一作者的第一单位    第一作者单位    通讯作者单位

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	Single-mode-resonance interference in photoresist sub-micron waveguide for high exposure depth nanolithography 期刊论文 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2016, 卷号: 154, 页码: 8-11 作者:  Yang, Zheng;  Zhang, Zhiyou;  Wu, Peng;  Xia, Liangping;  Yin, Shaoyun;  Du, Jinglei 收藏  |  浏览/下载：119/0  |  提交时间：2018/03/15 Lithography  Subwavelength  Nanostructure fabrication  Waveguide  Single-mode-resonance
	Silicon-mold-based fabrication method for manufacturing polyimide membrane with nano-protuberance array structure 会议论文 6th IEEE International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale, IEEE 3M-NANO 2016, Chongqing, China, July 18, 2016 - July 22, 2016 作者:  Yang, Zheng;  Wu, Peng;  Rao, Xianhua;  Yin, Shaoyun;  Du, Chunlei Adobe PDF(472Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：66/0  |  提交时间：2018/03/16
	Nanofabrication with sub-50nm features by imprinting-induced cracks 会议论文 Optical Design and Testing VI, Beijing, China, October 9, 2014 - October 10, 2014 作者:  Xia, Liangping;  Zhang, Man;  Yang, Zheng;  Yin, Shaoyun;  Du, Chunlei Adobe PDF(1220Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：57/0  |  提交时间：2018/03/16
	Electrochemical tuned scattering of gold nanostructure 期刊论文 APPLIED SURFACE SCIENCE, 2013, 卷号: 265, 页码: 802-809 作者:  Huang, Yu;  Xia, Liangping;  Yang, Zheng;  Liu, Yuan;  Xie, Wanyi;  Zhang, Hua Adobe PDF(2241Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：87/0  |  提交时间：2018/03/14 Gold Nanostructure  Potential Sweep Transient  Potential Step Transient  Adsorptive Ion