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	数字掩模投影光刻的极限分辨率研究 期刊论文 量子电子学报, 2019, 卷号: 036, 期号: 003, 页码: 354 作者:  刘玉环;  赵圆圆;  董贤子;  郑美玲;  段宣明;  赵震声 收藏  |  浏览/下载：164/0  |  提交时间：2019/12/03
	多点实时光刻机光源照度均匀度检测系统设计 期刊论文 激光与光电子学进展, 2018, 卷号: 055, 期号: 006, 页码: 061203 作者:  赵可为;  谭艾英;  尹韶云;  蔡文涛;  杨若夫;  陈建军;  佟首峰 收藏  |  浏览/下载：120/0  |  提交时间：2019/12/03
	大面积高均匀度平行光曝光机用自由曲面复眼透镜设计 期刊论文 激光与光电子学进展, 2018, 卷号: 55, 期号: 4, 页码: 042201 作者:  陈忠雨;  尹韶云;  孙秀辉;  江海波;  杜春雷 收藏  |  浏览/下载：89/0  |  提交时间：2019/12/03
	基于移动掩模曝光的聚酰亚胺连续微结构刻蚀工艺研究 期刊论文 光子学报, 2015, 卷号: 44, 期号: 9, 页码: 0922004 作者:  谢玉萍;  吴鹏;  杨正;  尹韶云;  杜春雷;  董连和 收藏  |  浏览/下载：81/0  |  提交时间：2019/12/03