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限定条件	专题：微纳制造与系统集成研究中心    第一作者的第一单位    第一作者单位    通讯作者单位    专题：集成光电技术研究中心

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	Silicon-mold-based fabrication method for manufacturing polyimide membrane with nano-protuberance array structure 会议论文 6th IEEE International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale, IEEE 3M-NANO 2016, Chongqing, China, July 18, 2016 - July 22, 2016 作者:  Yang, Zheng;  Wu, Peng;  Rao, Xianhua;  Yin, Shaoyun;  Du, Chunlei Adobe PDF(472Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：67/0  |  提交时间：2018/03/16
	用于成像系统的高矢高透镜阵列光刻技术 期刊论文 科学技术与工程, 2014, 期号: 20, 页码: 167-171 作者:  张裕坤;  张志友;  杜惊雷;  尹韶云;  史立芳;  邓启凌;  董小春;  杜春雷 Adobe PDF(417Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：77/0  |  提交时间：2018/03/16 矢高  透镜阵列  成像
	Nanofabrication with sub-50nm features by imprinting-induced cracks 会议论文 Optical Design and Testing VI, Beijing, China, October 9, 2014 - October 10, 2014 作者:  Xia, Liangping;  Zhang, Man;  Yang, Zheng;  Yin, Shaoyun;  Du, Chunlei Adobe PDF(1220Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：58/0  |  提交时间：2018/03/16