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中国科学院重庆绿色智能技术研究院机构知识库
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文献类型:期刊论文
专题:集成光电技术研究中心
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Single-mode-resonance interference in photoresist sub-micron waveguide for high exposure depth nanolithography
期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2016, 卷号: 154, 页码: 8-11
作者:
Yang, Zheng
;
Zhang, Zhiyou
;
Wu, Peng
;
Xia, Liangping
;
Yin, Shaoyun
;
Du, Jinglei
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提交时间:2018/03/15
Lithography
Subwavelength
Nanostructure fabrication
Waveguide
Single-mode-resonance
用于成像系统的高矢高透镜阵列光刻技术
期刊论文
科学技术与工程, 2014, 期号: 20, 页码: 167-171
作者:
张裕坤
;
张志友
;
杜惊雷
;
尹韶云
;
史立芳
;
邓启凌
;
董小春
;
杜春雷
Adobe PDF(417Kb)
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浏览/下载:77/0
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提交时间:2018/03/16
矢高
透镜阵列
成像
Nanochannel fabrication by imprinting-induced cracks
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2014, 卷号: 104, 期号: 7, 页码: 4
作者:
Xia, Liangping
;
Zhang, Man
;
Yang, Zheng
;
Cui, Hongliang
;
Yin, Shaoyun
;
Hu, Song
;
Du, Chunlei
收藏
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浏览/下载:81/0
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提交时间:2018/03/15