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	Modulation of microstructure and optical properties of anti-reflection HfO2 films by sputtering power and O2/Ar flow ratio 期刊论文 APPLIED PHYSICS B-LASERS AND OPTICS, 2023, 卷号: 129, 期号: 11, 页码: 19 作者:  Wu, Yuling;  Yu, Jingxia;  Yang, Liang;  Wu, Wei;  Wang, Xiangyu;  Tang, Min;  Li, Bo;  Zu, Xiaotao;  Xiang, Xia 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2023/12/25