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Adjusting light distribution for generating microlens arrays with a controllable profile and fill factor 期刊论文 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2014, 卷号: 24, 期号: 12, 页码: 9 作者:  Wang, Lanlan;  Jiang, Weitao;  Liu, Hongzhong;  Yang, Zhongbo;  Shi, Yongsheng;  Yin, Lei;  Li, Xin;  Ding, Yucheng;  An, Ningli Adobe PDF(2003Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：76/0  |  提交时间：2018/03/15 42.79.Bh lenses  prisms and mirrors 42.82.Cr fabrication techniques  lithography  pattern transfer 42.25.Fx diffraction and scattering