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数字掩模投影光刻的极限分辨率研究 期刊论文
量子电子学报, 2019, 卷号: 036, 期号: 003, 页码: 354
作者:  刘玉环;  赵圆圆;  董贤子;  郑美玲;  段宣明;  赵震声
收藏  |  浏览/下载：165/0  |  提交时间：2019/12/03