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限定条件	专题：集成光电技术研究中心    第一作者的第一单位    第一作者单位    通讯作者单位

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	用于成像系统的高矢高透镜阵列光刻技术 期刊论文 科学技术与工程, 2014, 期号: 20, 页码: 167-171 作者:  张裕坤;  张志友;  杜惊雷;  尹韶云;  史立芳;  邓启凌;  董小春;  杜春雷 Adobe PDF(417Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：77/0  |  提交时间：2018/03/16 矢高  透镜阵列  成像