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	Single-mode-resonance interference in photoresist sub-micron waveguide for high exposure depth nanolithography 期刊论文 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2016, 卷号: 154, 页码: 8-11 作者:  Yang, Zheng;  Zhang, Zhiyou;  Wu, Peng;  Xia, Liangping;  Yin, Shaoyun;  Du, Jinglei 收藏  |  浏览/下载：122/0  |  提交时间：2018/03/15 Lithography  Subwavelength  Nanostructure fabrication  Waveguide  Single-mode-resonance
	Continuous microstructure etching process polyimide based moving mask exposure 期刊论文 Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica, 2015, 卷号: 44, 期号: 9 作者:  Xie, Yu-Ping;  Wu, Peng;  Yang, Zheng;  Yin, Shao-Yun;  Du, Chun-Lei;  Dong, Lian-He Adobe PDF(1425Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：95/0  |  提交时间：2018/03/16