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大面积平行光高均匀度曝光机用自由曲面复眼设计 期刊论文
激光与光电子学进展, 2017, 页码: 1-13
作者:  陈忠雨;  尹韶云;  孙秀辉;  江海波;  杜春雷
Adobe PDF(518Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：211/0  |  提交时间：2018/03/16
光学设计  高均匀度  自由曲面  曝光机  复眼