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一种保护石墨烯薄膜刻蚀和转移的装置以及方法 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: 2014106061691, 申请日期: 2014-10-29,
发明人:  钟达;  史浩飞;  崔华亭;  李占成;  谭其良
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