KMS Chongqing Institute of Green and Intelligent Technology, CAS
一种保护石墨烯薄膜刻蚀和转移的装置以及方法 | |
钟达; 史浩飞; 崔华亭; 李占成; 谭其良 | |
2018-04-03 | |
摘要 | 本发明涉及石墨烯制造技术领域,尤其涉及一种保护石墨烯薄膜刻蚀和转移的装置以及方法,包括第一夹具和第二夹具,所述第一夹具为由第一夹具柱组成的方形框架结构,所述第二夹具为由四个第二夹具柱组成的方形框架结构,所述第一夹具的方形大小和所述第二夹具的方形大小相同,且所述第一夹具设置在所述第二夹具的上方,所述第一夹具和所述第二夹具通过活动卡扣连接,所述第一夹具和所述第二夹具之间设有夹具间隙。本发明的有益效果是:采用第一夹具和第二夹具组成的转移装置,在对石墨烯片进行刻蚀前对其进行夹持,不仅能方便对石墨烯片的转移,并且能对石墨烯片在刻蚀时进行保护,避免石墨烯片触及刻蚀液槽底部导致石墨烯薄膜的损伤。 全部 |
专利类型 | 发明专利 |
语种 | 中文 |