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多点实时光刻机光源照度均匀度检测系统设计 期刊论文
激光与光电子学进展, 2018, 卷号: 055, 期号: 006, 页码: 061203
作者:  赵可为;  谭艾英;  尹韶云;  蔡文涛;  杨若夫;  陈建军;  佟首峰
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衍射拼接主镜厚度误差分析及分辨率增强实验 期刊论文
光学学报, 2018, 卷号: 038, 期号: 010, 页码: 1005001
作者:  李韬杰;  汪岳峰;  杨正;  韩珺;  陈建军;  李晶;  尹韶云;  吴鹏
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