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多点实时光刻机光源照度均匀度检测系统设计 期刊论文
激光与光电子学进展, 2018, 卷号: 055, 期号: 006, 页码: 061203
作者:  赵可为;  谭艾英;  尹韶云;  蔡文涛;  杨若夫;  陈建军;  佟首峰
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Design of UV LED illumination system for direct imaging lithography 会议论文
Optical Design and Testing VIII 2018, Beijing, China, October 11, 2018 - October 13, 2018
作者:  Jiang, Haibo;  Sun, Xiuhui;  Yang, Ruofu;  Chen, Jianjun;  Xie, Lin;  Yin, Shao-Yun
收藏  |  浏览/下载：106/0  |  提交时间：2019/06/25