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限定条件	发表日期：2018    语种：英语    作者：尹韶云    第一作者    作者：陈建军

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	多点实时光刻机光源照度均匀度检测系统设计 期刊论文 激光与光电子学进展, 2018, 卷号: 055, 期号: 006, 页码: 061203 作者:  赵可为;  谭艾英;  尹韶云;  蔡文涛;  杨若夫;  陈建军;  佟首峰 收藏  |  浏览/下载：121/0  |  提交时间：2019/12/03
	衍射拼接主镜厚度误差分析及分辨率增强实验 期刊论文 光学学报, 2018, 卷号: 038, 期号: 010, 页码: 1005001 作者:  李韬杰;  汪岳峰;  杨正;  韩珺;  陈建军;  李晶;  尹韶云;  吴鹏 收藏  |  浏览/下载：112/0  |  提交时间：2019/12/03
	Thickness Error Analysis of Diffractive Segmented Primary Lens and Resolution Enhancement Experiment 期刊论文 Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2018, 卷号: 38, 期号: 10 作者:  Li, Taojie;  Wang, Yuefeng;  Yang, Zheng;  Han, Jun;  Chen, Jianjun;  Li, Jing;  Yin, Shaoyun;  Wu, Peng 收藏  |  浏览/下载：106/0  |  提交时间：2019/06/26
	Design of UV LED illumination system for direct imaging lithography 会议论文 Optical Design and Testing VIII 2018, Beijing, China, October 11, 2018 - October 13, 2018 作者:  Jiang, Haibo;  Sun, Xiuhui;  Yang, Ruofu;  Chen, Jianjun;  Xie, Lin;  Yin, Shao-Yun 收藏  |  浏览/下载：106/0  |  提交时间：2019/06/25