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大面积平行光高均匀度曝光机用自由曲面复眼设计 期刊论文
激光与光电子学进展, 2017, 页码: 1-13
作者:  陈忠雨;  尹韶云;  孙秀辉;  江海波;  杜春雷
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光学设计  高均匀度  自由曲面  曝光机  复眼  
基于瑞利-索末菲衍射理论的近场大衍射角衍射光学元件的设计 期刊论文
光子学报, 2017, 卷号: 46, 期号: 11, 页码: 1122003-1-1122003-7
作者:  李晶;  吴鹏;  杨正;  郑倩颖;  李韬杰;  向阳;  杜春雷;  尹韶云
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Continuous microstructure etching process polyimide based moving mask exposure 期刊论文
Guangzi Xuebao/Acta Photonica Sinica, 2015, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Xie, Yu-Ping;  Wu, Peng;  Yang, Zheng;  Yin, Shao-Yun;  Du, Chun-Lei;  Dong, Lian-He
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