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发表日期：2019

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	Polishing method for polyimide membranes based on reactive ion etching 期刊论文 Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2019, 卷号: 27, 期号: 2, 页码: 302-308 作者:  Yang, Zheng;  Jin, Zhi-Wei;  Chen, Jian-Jun;  Rao, Xian-Hua;  Yin, Shao-Yun;  Wu, Peng 收藏  |  浏览/下载：148/0  |  提交时间：2020/02/18