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基于类金刚石薄膜的纳米孔测量系统及其制备方法 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: 2014107072034, 申请日期: 2014-11-28,
发明人:  王德强;  冯艳晓;  赵清;  史浩飞;  杜春雷
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