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中国科学院重庆绿色智能技术研究院机构知识库
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微纳制造与系统集成研... [1]
作者
史浩飞 [1]
李昕 [1]
文献类型
专利 [1]
发表日期
2018 [1]
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中文 [1]
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一种真空设备用可伸缩气体源装置
专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 2017212599107, 申请日期: 2017-09-28,
发明人:
李昕
;
史浩飞
;
杨小东
;
唐文新
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提交时间：2018/06/07
