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预应力可调节的薄膜夹持机构 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 2019222998102, 申请日期: 2019-12-19,
发明人:  陈建军;  杜凯;  杨正;  吴鹏;  尹韶云
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Polishing method for polyimide membranes based on reactive ion etching 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2019, 卷号: 27, 期号: 2, 页码: 302-308
作者:  Yang, Zheng;  Jin, Zhi-Wei;  Chen, Jian-Jun;  Rao, Xian-Hua;  Yin, Shao-Yun;  Wu, Peng
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