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Polishing method for polyimide membranes based on reactive ion etching 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2019, 卷号: 27, 期号: 2, 页码: 302-308
作者:  Yang, Zheng;  Jin, Zhi-Wei;  Chen, Jian-Jun;  Rao, Xian-Hua;  Yin, Shao-Yun;  Wu, Peng
收藏  |  浏览/下载：149/0  |  提交时间：2020/02/18
聚酰亚胺薄膜的反应离子刻蚀抛光 期刊论文
光学精密工程, 2019, 卷号: 000, 期号: 002, 页码: 302
作者:  杨正;  靳志伟;  陈建军;  饶先花;  尹韶云;  吴鹏
收藏  |  浏览/下载：227/0  |  提交时间：2019/12/03