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基于移动掩模曝光的聚酰亚胺连续微结构刻蚀工艺研究 期刊论文
光子学报, 2015, 卷号: 44, 期号: 9, 页码: 0922004
作者:  谢玉萍;  吴鹏;  杨正;  尹韶云;  杜春雷;  董连和
收藏  |  浏览/下载：83/0  |  提交时间：2019/12/03