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限定条件	文献类型：会议论文    作者：尹韶云    第一作者    作者：孙秀辉    专题：集成光电技术研究中心    第一作者的第一单位    第一作者单位    通讯作者单位

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	Design of UV LED illumination system for direct imaging lithography 会议论文 Optical Design and Testing VIII 2018, Beijing, China, October 11, 2018 - October 13, 2018 作者:  Jiang, Haibo;  Sun, Xiuhui;  Yang, Ruofu;  Chen, Jianjun;  Xie, Lin;  Yin, Shao-Yun 收藏  |  浏览/下载：106/0  |  提交时间：2019/06/25
	UV-LED system to obtain high power density in specific working-plane 会议论文 Optical Design and Testing VI, Beijing, China, October 9, 2014 - October 10, 2014 作者:  Li, Renyuan;  Sun, Xiuhui;  Gou, Jian;  Cai, Wentao;  Du, Chunlei;  Yin, Shaoyun Adobe PDF(517Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：73/0  |  提交时间：2018/03/16