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中国科学院重庆绿色智能技术研究院机构知识库
KMS Chongqing Institute of Green and Intelligent Technology, CAS
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((ALL：plasma etching technique))
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((资助项目：National High-tech R&D Program of China (863 Program)[2015AA034801]))
共7条，第1-7条
魏大鹏
4
孙泰
3
史浩飞
2
杨俊
2
杜春雷
2
于乐泳
2
张永娜
1
