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一种低温快速生长各种类型图形化三维石墨烯的方法
于乐泳; 冯双龙; 胡云; 孙泰; 杨俊; 魏大鹏; 史浩飞; 杜春雷
2018-10-19
摘要

本发明提供了一种低温快速生长各种类型图形化三维石墨烯的方法,属于电子生产技术和柔性器件制备领域,该方法步骤包括:(1)制作掩模板图形;(2)固定掩模板和生长基底:(3)低温生长三维石墨烯;通过该方法可制备任意形状的三维石墨烯。该方法步骤简单、高效、成本低、环保,且无需进行加热处理,适用于图形化三维石墨烯的产业化生产,同时也可应用于其他二维三维材料的图形化处理。

专利类型发明专利
语种中文