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一种基于石墨烯夹层式红外吸收层的红外探测器
周大华; 魏兴战; 冯双龙; 申钧; 杨俊; 史浩飞; 杜春雷
2018-07-06
摘要

本发明公开了一种基于石墨烯夹层式红外吸收层的红外探测器,还公开了该红外探测器的制备方法。基于石墨烯夹层式红外吸收层包括热敏层,所述热敏层上方覆盖有石墨烯薄膜,下方贴附有Si3N4薄膜。到达热敏层的红外线有三种途径:部分红外线反射回石墨烯层,部分被热敏层吸收红生热,剩余的红外线透过热敏层辐照到Si3N4薄膜。本发明是让从热敏层反射和透射的红外线,尽可能又重新被反射回热敏层,形成“温室效应”的腔体结构。

专利类型发明专利
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