中国科学院重庆绿色智能技术研究院机构知识库

本发明提供了一种具有亚波长金属结构的芯片型光谱仪，包括：亚波长滤波单元阵列和光电探测器阵列，光电探测器阵列设置在亚波长滤波单元阵列的出光侧，亚波长滤波单元阵列包括基底和附着在基底上的金属膜，金属膜上设置有多个呈阵列排列的开口，每行开口之间的开孔周期由亚波长金属孔阵列的光谱透射特性确定。本发明结构简单、无需机械移动、所有光学元件共光轴，便于集成，采用纳米量级薄膜，解决了光谱仪向芯片尺度小型化的难题。