中国科学院重庆绿色智能技术研究院机构知识库

本实用新型公开了一种用于液晶面板制造的紫外LED曝光系统，包括第一合束镜、第一类LED面光源和第二类LED面光源，第一类LED面光源包括第一基板、LED灯珠和与准直透镜，最左侧列的准直透镜和最右侧列的准直透镜之间的其他中间准直透镜与中间LED灯珠中心线重合，最左侧列的任意LED灯珠的中心线向左偏，最右侧列的任意LED灯珠的中心线向右侧偏，最前侧列的任意LED灯珠的中心线向前侧偏，最后侧列的任意LED灯珠的中心线向后侧偏。该紫外LED曝光系统采用至少两种波长的紫外LED作为光源，适用于液晶面板制造，不但获得与原汞灯曝光系统相当的高强度均匀照明，而且能确保目标面上各个位置的光谱强度更加均匀。