CSpace  > 集成光电技术研究中心
一种用于曝光机的阵列光源照明装置
欧高焓; 孙秀辉1; 尹韶云1
2018-05-04
摘要

本实用新型公开了一种用于曝光机的阵列光源照明装置,包括LED光源,LED光源包括固定底板和灯珠组件,LED灯珠组件包括基板、固定于基板上的LED灯珠和灯罩透镜,灯罩透镜包括通过固定结构可拆卸固定的准直透镜和收集透镜,收集透镜设置于准直透镜的出光侧,LED灯珠组件的前方依次设置有聚焦透镜、匀光棒、倍率放大镜头组和曝光接收面,聚焦透镜将光汇集至匀光棒的入射端面,匀光棒为锥形匀光棒,匀光棒的入射端面的面积大于出射端面的面积,倍率放大镜头组将匀光棒出射端面发出的光线放大后成像于曝光接收面上。该阵列光源照明装置利用LED阵列光源用于曝光机,能够提供光斑均匀的曝光面,结构更加紧凑,成本更低。

专利类型实用新型
语种中文