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一种基于复合超薄金属的高效率减色滤光片
杨俊; 汤林龙; 王婧; 彭进才; 魏兴战; 史浩飞; 杜春雷
2018-03-09
摘要

一种基于复合超薄金属的高效率减色滤光片，由透明基底(1)和超薄铝?银复合金属薄膜构成，超薄铝?银复合金属薄膜由超薄铝薄膜(2)和超薄银薄膜(3)构成，超薄铝?银复合金属薄膜的总体厚度为5～19nm，其中超薄铝薄膜(2)的厚度为1～4nm，超薄银薄膜(3)的厚度为4～15nm；在超薄铝?银复合金属薄膜上制备有亚波长周期纳米结构。本发明制备的滤光片具有很高的透射效率，易于制造和设备集成，在高温、高湿度和长期的辐射暴露下具有更高的可靠性。该滤光片适用于紫外光、可见光及近红外波段。 全部

专利类型发明专利
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