KMS Chongqing Institute of Green and Intelligent Technology, CAS
一种用于石墨烯生长的工艺腔 | |
于本文; 史浩飞; 李占成; 钟达; 杜春雷 | |
2015-07-01 | |
摘要 | 本实用新型公开了一种用于石墨烯生长的工艺腔,用于生产石墨烯薄膜,包括腔体,所述腔体的上端和下端的内壁上均设有一环形安装槽,每个所述环形安装槽中均设有耐高温碳碳材料圆筒。本实用新型中,由于腔体的上端和下端管壁安装了耐高温碳碳材料圆筒,碳碳材料容易吸附铜及黑色炭残留物,腔体长时间使用后铜及黑色炭残留物聚集在耐高温碳碳材料圆筒上,当腔体使用40天至50天后,拆掉耐高温碳碳材料圆筒,安装新的耐高温碳碳复合材料圆筒,工艺腔可以恢复生产,工艺腔的清洗间隔周期延长,清洗过程时间缩短。 |
专利类型 | 实用新型 |
语种 | 中文 |