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一种用于石墨烯生长的载具
于本文; 史浩飞; 徐鑫; 李占成; 钟达
2015-07-08
摘要

本实用新型涉及一种用于石墨烯生长的载具,载具包括立方体框架,立方体框架的底端上设有底挡板,立方体框架相对的两个侧面的内侧上均设有侧挡板,两个侧挡板相互朝向的一面上均设有若干均匀排布的侧挡板槽,两个侧挡板上的侧挡板槽分别一一对应,在立方体框架设有侧挡板的两个侧面的顶边上均设有若干固定槽,立方体框架的顶端设有若干横向石英棒,相邻的两个横向石英棒之间设有碳碳复合材料薄板,碳碳复合材料薄板的两侧边分别设在两个侧挡板的侧挡板槽内。将生长基底铺设在碳碳复合材料薄板上,将纵向石英棒依次穿过碳碳复合材料薄板和生长基底后,将生长基底置于载具上,有效防止生长基底粘连,提升炉体加工产能。

专利类型实用新型
语种中文