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	一种快速制备材料的微波等离子反应装置
	冯双龙; 陆文强; 刘双翼; 石彪
	2016-01-20
摘要	本实用新型公开了一种用于快速制备材料的微波等离子体反应装置，属于微波应用技术领域。包括等离子体激发装置、反应器和气压调节装置，等离子体激发装置为商用微波源；反应器放置在微波腔内，同时将反应物放置在反应器内；通过真空连接法兰和真空气体调节阀调整输入气体的压力。当工作气体通过通道到达微波区域时，在气体调节阀的调节下生成等离子体，并加热反应物。本反应装置能够在常温常压下持续工作，生成高纯度、高质量的材料，具有很好的工业应用前景。
专利类型	实用新型
语种	中文