中国科学院重庆绿色智能技术研究院机构知识库

本实用新型提供一种UV LED光源结构及平行光曝光机，包括UV LED光源模块、复眼透镜匀化系统与主反射镜，沿UV LED光源模块的光路方向，复眼透镜匀化系统与主反射镜依序布置，UV LED光源模块用于射出紫外光线，UV LED光源模块与复眼透镜匀化系统相邻平行设置，主反射镜将平行紫外光线反射至掩膜版。光源模块采用UV LED灯珠阵列作为照明光源，在UV LED灯珠阵列上使用自由曲面准直透镜产生平行光束，且每个所述自由曲面准直透镜一一对应覆盖于所述UV LED灯珠阵列中的单个灯珠上，解决了UVLED光源发散角大的问题；通过复眼透镜匀化系统及主反射镜，提高了平行光线的均匀度和平行度。基于UV LED光源结构的平行光曝光机，具有结构简单、能耗少、成本低和寿命长等优点。