CSpace  > 微纳制造与系统集成研究中心
一种基于石墨烯的微测辐射热计
杨俊; 汤林龙; 冯双龙; 魏兴战; 史浩飞; 杜春雷
2016-09-28
摘要本实用新型涉及一种基于石墨烯的微测辐射热计,所述石墨烯微测辐射热计包括硅基底(101)、悬空孔(102)、悬空支撑层(103)、金属电极引线(104)、石墨烯红外敏感层(105)、石墨烯保护层(106)、悬空支撑层微孔(107)。该微测辐射热计采用石墨烯作为宽波段红外吸收敏感层,采用悬空支撑层微孔结构提高了红外探测灵敏度,结构简单,成本低,且具有优异的非制冷宽波段红外探测性能。
专利类型实用新型
语种中文