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	一种非制冷宽波段红外探测器
	杨俊; 魏兴战; 汤林龙; 史浩飞; 杜春雷
	2016-12-21
摘要	本实用新型公开了一种非制冷宽波段红外探测器，其单元器件包括硅基底、支撑层、金属电极、宽波段红外吸收层、热敏感层及悬空孔；热敏感层置于宽波段红外吸收层上方或下方的中间；金属电极置于热敏感层的两旁、宽波段红外吸收层两端的上方；支撑层置于硅基底上方，悬空孔置于硅基底和支撑层的中间，并穿透了硅基底和支撑层，宽波段红外吸收层和热敏感层均置于支撑层上方且完全覆盖支撑层中间的悬空孔的上端开口。本实用新型的宽波段红外吸收层和热敏感层共同组成红外敏感层，并结合悬空结构，可极大提高探测器的性能。解决了现有非制冷宽波段红外探测器工艺复杂、红外吸收波段窄、红外吸收率低等问题，实现非制冷宽波段、低成本、高灵敏度红外探测。
专利类型	实用新型
语种	中文