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一种基于碳纳米红外吸收层的微测辐射热计
杨俊; 姬乙雄; 汤林龙; 冯双龙; 周大华; 申钧; 魏兴战; 史浩飞; 杜春雷
2017-01-18
摘要

本实用新型涉及一种基于碳纳米红外吸收层的微测辐射热计,包括氮化硅支撑层(5),所述氮化硅支撑层(5)向上依次为第一碳纳米红外吸收层(4),热敏感层(3),第二碳纳米红外吸收层(2)和氮化硅保护层(1);所述第二碳纳米红外吸收层2和氮化硅保护层(1)构成微测辐射热计的顶部红外吸收层;所述第一碳纳米红外吸收层4和氮化硅支撑层(5)构成微测辐射热计的底部红外吸收层,底部红外吸收层与金属反射层(7)之间通过支撑桥墩(6)形成红外吸收谐振腔(9);所述金属反射层(7)位于硅衬底(8)之上。该微测辐射热计采用碳纳米材料作为红外吸收增强层,不仅提高器件的红外吸收率和探测灵敏度,而且可以实现宽波段红外吸收,器件结构简单,有优异的非制冷红外探测性能。

专利类型实用新型
语种中文