CSpace  > 微纳制造与系统集成研究中心
一种多孔碳纳米薄膜及其红外微测辐射热计
杨俊; 魏兴战; 汤林龙; 申钧; 周大华; 冯双龙; 史浩飞; 杜春雷
2017-01-18
摘要

本实用新型涉及一种多孔碳纳米薄膜及其红外微测辐射热计,碳纳米薄膜中sp2杂化状态的碳含量高于75%,薄膜的孔隙半径为30nm~500nm,孔隙率为30%~70%,多孔碳纳米薄膜的厚度为30nm~3000nm。该多孔碳纳米薄膜可以应用于微测辐射热计中,作为红外吸收增强材料或者单独作为红外吸收层,不仅提高器件的红外吸收率和探测灵敏度,而且可以实现宽波段红外吸收,器件结构简单,工艺兼容,有优异的非制冷红外探测性能。

专利类型实用新型
语种中文