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	微纳加工方法和设备
	张为国; 史浩飞; 董小春; 夏良平; 杜春雷
	2015-04-29
摘要	本发明公开了一种微纳加工方法和设备。采用待加工衬底的各项参数，并依据导体表面电场分布方式确定电极板的结构；然后根据该电极板的结构和待加工衬底上预加工微纳结构指标确定电化学溶液；再将分别连接电流源的阳极或阴极的电极板与衬底按照相对方式放置于电化学溶液中，通电后，在预设时间内搅拌所述电化学溶液，利用该电化学溶液中的载流子制备位于所述衬底上符合所述预设指标的微纳结构。本发明通过控制待微纳加工的衬底表面静电场分布来控制电化学溶液中的反应离子，最终在该衬底上制备出具有一定面形分布的微纳结构。从而实现利用静电场操控三维及曲面衬底微纳结构低成本、高效率、高精度成形的目的。
专利类型	发明专利
语种	中文