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	一种高温下连续生长石墨烯的装置
	李占成; 史浩飞; 黄德萍; 张永娜; 魏大鹏; 杜春雷
	2015-06-03
摘要	一种高温下连续生长石墨烯的装置，包括有内设真空室的密封机柜、卷有基底的放料辊轮、用于卷收基底的收料辊轮、加热器、进气机构和真空泵组。基底卷在放料辊轮上，基底的端头穿过坚直高温反应腔连接在收料辊轮上，真空泵组为竖直反应腔提供真空的反应条件，进气机构向竖直反应腔提供石墨烯生长反应气体，加热器为石墨烯生长提供温度条件。本设备克服了石墨烯生长连续制备与高温不兼容的问题，它可以使生长基底在高温下连续、平稳的生长石墨烯，实现大面积均匀石墨烯的规模化制备。
专利类型	发明专利
语种	中文