中文版 | English
CSpace  > 微纳制造与系统集成研究中心
一种用于转移石墨烯薄膜的工装装置
钟达; 史浩飞; 邵丽; 张鹏飞; 余杰
2017-05-10
摘要

本发明公开了一种用于转移石墨烯薄膜的工装装置，包括底板、与底板固定连接的固定柱和垫片；所述垫片可以穿过固定柱，用于隔离石墨烯薄膜支撑层。本发明能够同时对多个生长有石墨烯薄膜的催化基底进行刻蚀，提高生产效率，同时工装装置具有结构简单，易于制造的优点。

专利类型发明专利
语种中文