中国科学院重庆绿色智能技术研究院机构知识库

本发明公开了一种基于双层金属线栅结构的太赫兹偏振片，包括硅基底1，硅基底上下表面的氮化硅层2，将所述氮化硅层2加工成在同一平面相互平行呈周期性排列的凸起3，在凸起3之间的硅基底上加工形成相互平行的凹槽4，在凸起3表面和凹槽4内部底面生成有线栅结构的金属薄膜5。本发明公开的偏振片横磁场波具有较高的透过率，消光比非常高，由于是双面对称结构，使用时没有方向区别，另外，本发明制作时上下刻蚀的凹槽无需对齐，只需上下平行，因此本发明还具有加工工艺简单，加工周期较短等优点。