KMS Chongqing Institute of Green and Intelligent Technology, CAS
一种密封微孔敞口的工艺 | |
王德强; 赵越; 陆文强; 崔洪亮; 杜春雷 | |
2017-09-29 | |
摘要 | 本发明公开了一种密封微孔敞口的工艺,利用Au催化辅助化学气相沉积生长技术,在带有微米孔的Si3N4衬底上制备了ZnO纳米结构,实现表面封孔的目的。封孔过程从孔壁向孔的中心平面沉积,通过沉积的温度和时间来控制微孔表面的沉积速率,最终形成氧化锌薄膜。所述氧化锌薄膜包括由交叉生长的氧化锌纳米线、纳米片或纳米柱构成的氧化锌纳米线层,形成的纳米材料结构确定、有序、可实现高的比表面积。经封孔处理后的Si3N4可作为承载、透波和热防护材料,可用于半导体纳米材料技术领域,多形态的ZnO纳米结构易刻蚀而使后继工艺加工更方便。 |
专利类型 | 发明专利 |
语种 | 中文 |