CSpace  > 微纳制造与系统集成研究中心
一种基于石墨烯纳米墙的气流传感器及制作方法
杨俊; 魏大鹏; 汤林龙; 史浩飞; 杜春雷
2017-10-27
摘要

本发明公开了一种基于石墨烯纳米墙的气流传感器,包括柔性衬底、设置在柔性衬底上的石墨烯纳米墙和设置在石墨烯纳米墙上的电极,所述柔性衬底会因气体流动而产生微小震动,从而导致石墨烯纳米墙的电阻发生改变;与此同时,本发明还提供一种制作前述气流传感器的方法。本发明所提供的气流传感器对气体流动有优良的探测特性,并且体积小巧,功耗低,性能稳定;同时柔性较好,可穿戴性能佳。

专利类型发明专利
语种中文