中国科学院重庆绿色智能技术研究院机构知识库

本发明涉及一种散射式的扫描近场太赫兹显微镜，属于显微镜技术领域。该装置包括太赫兹波产生元件、太赫兹波可视调节元件、太赫兹波干涉元件、扫描探针显微成像及太赫兹波近场信号调制部件、太赫兹波检测元件、锁相放大器和控制电脑。本发明能够同时获得物质纳米级分辨率三维形貌成像和纳米级空间分辨率的太赫兹光谱成像，可以为纳米级的材料表征、纳米级大小的半导体器件和生物大分子检测提供支持。